正航儀器真空氦質(zhì)譜檢漏儀法
時間：2015-09-12 作者：正航儀器 點擊:次
正航儀器真空氦質(zhì)譜檢漏儀法
利用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏的方法有：噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、吸槍法、充壓法、背壓法、累積法、選擇性抽氣法、檢漏臺法、逆流檢漏法和標準漏孔比較法。各種方法的設(shè)備、步驟及漏率見表11。
在檢漏過程中．應(yīng)注意調(diào)節(jié)儀器工作壓力和氦峰，注意經(jīng)常校準儀器靈敏度，注意降低儀器本底和本底噪聲，以便保證氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏法的靈敏度。
[表11 氦質(zhì)譜儀撿漏法]
利用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏的方法有：噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、吸槍法、充壓法、背壓法、累積法、選擇性抽氣法、檢漏臺法、逆流檢漏法和標準漏孔比較法。各種方法的設(shè)備、步驟及漏率見表11。
在檢漏過程中．應(yīng)注意調(diào)節(jié)儀器工作壓力和氦峰，注意經(jīng)常校準儀器靈敏度，注意降低儀器本底和本底噪聲，以便保證氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏法的靈敏度。
[表11 氦質(zhì)譜儀撿漏法]
