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正航儀器旋片式真空泵
時(shí)間：2015-09-01 作者：正航儀器 點(diǎn)擊:次
正航儀器旋片式真空泵
旋片式真空泵是目前使用最廣，生產(chǎn)系列最全的泵種之一。
1．單級(jí)旋片泵結(jié)構(gòu)與工作原理
如圖5所示，單級(jí)旋片泵只有一個(gè)工作室。泵主要由定子、旋片、轉(zhuǎn)子組成。在泵腔內(nèi)偏心地裝有轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁(轉(zhuǎn)動(dòng)后還有旋片離心力)。轉(zhuǎn)子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。
當(dāng)轉(zhuǎn)子在定子腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)周期性地將進(jìn)氣口方面容積逐漸擴(kuò)大而吸入氣體，同時(shí)逐漸縮小排氣口一側(cè)的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣閥排出。
排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中。泵油通過油孔及排氣閥進(jìn)入泵腔，使泵腔內(nèi)所有的運(yùn)動(dòng)表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。
2．雙級(jí)旋片泵的結(jié)構(gòu)與工作原理
單級(jí)旋片泵一般極限壓力只能達(dá)到1.3Pa(個(gè)別可達(dá)0.1Pa)，為什么極限壓力不能再低呢？主要由于：
(1)泵的結(jié)構(gòu)上存在有害空間(見圖6)，該空間中的氣體是無法排除的。當(dāng)旋片轉(zhuǎn)過排氣口后，這一部分氣體又被壓縮，經(jīng)過轉(zhuǎn)子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間，所以每次總有些氣體排不盡。
(2)由于在泵工作時(shí)，泵腔的吸氣空間與排氣空間存在著一定的壓力差。當(dāng)排氣空間的氣體被壓縮得很小時(shí)，它的壓力很高，會(huì)通過各種可能的途徑突破到吸氣空間去，使泵真空度下降。
(3)泵油在泵體內(nèi)循環(huán)流動(dòng)過程中會(huì)溶解進(jìn)大量氣體和蒸氣。在吸氣側(cè)，因?yàn)閴毫^低，溶解的氣體又會(huì)跑出來，使泵的真空度不易提高。
為了提高泵的極限真空度，除了提高泵體、轉(zhuǎn)子、旋片的加工精度，盡量減少裝配間隙和有害空間以外，最有效的辦法是將兩只單級(jí)泵串接起來，組成雙級(jí)泵。
圖7為雙級(jí)泵的工作原理圖。泵由兩個(gè)工作室組成。兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，A室是B室的前級(jí)，A是低真空級(jí)，B是高真空級(jí)。被抽氣體經(jīng)高真空級(jí)(B室) 進(jìn)入前級(jí)，由排氣閥排出泵外。前級(jí)(A)和單級(jí)泵一樣，隨時(shí)有油進(jìn)入泵腔，而高真空級(jí)(B)僅在開始工作時(shí)存有少量的油，工作一段時(shí)間后，便沒有油進(jìn)入泵腔了。當(dāng)泵開始工作，且吸入氣體的壓力較高時(shí)(例如從大氣壓力開始抽氣)，氣體經(jīng)B室壓縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥(1)排出，另一部分則經(jīng)由前級(jí)排出。
當(dāng)泵工作一段時(shí)間后，B室吸入的氣體壓力較低時(shí)，雖經(jīng)B室的壓縮，壓力也達(dá)不到一個(gè)大氣壓以上，排不開輔助排氣閥(1)，則吸入的氣體全部進(jìn)入前級(jí)A室，經(jīng)A室的繼續(xù)壓縮，由排氣閥(3)排出。
泵工作一段時(shí)間后，由于高真空級(jí)進(jìn)氣時(shí)壓力大大降低，其出口壓力也很小，這樣B室進(jìn)出氣口的壓力差也較小，被壓縮氣體返回的數(shù)量也相應(yīng)減少；同時(shí)，后級(jí)泵中易蒸發(fā)的油分子不斷被前級(jí)A室抽走，油蒸氣的分壓減少了，因而雙級(jí)泵的油污染比單級(jí)小，極限真空度將大大提高。目前的雙級(jí)旋片真空泵的極限壓力可達(dá)到10-2pa，國(guó)外有的泵可達(dá)到10-3Pa。
旋片式真空泵是目前使用最廣，生產(chǎn)系列最全的泵種之一。
1．單級(jí)旋片泵結(jié)構(gòu)與工作原理
如圖5所示，單級(jí)旋片泵只有一個(gè)工作室。泵主要由定子、旋片、轉(zhuǎn)子組成。在泵腔內(nèi)偏心地裝有轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁(轉(zhuǎn)動(dòng)后還有旋片離心力)。轉(zhuǎn)子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。
當(dāng)轉(zhuǎn)子在定子腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)周期性地將進(jìn)氣口方面容積逐漸擴(kuò)大而吸入氣體，同時(shí)逐漸縮小排氣口一側(cè)的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣閥排出。
排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中。泵油通過油孔及排氣閥進(jìn)入泵腔，使泵腔內(nèi)所有的運(yùn)動(dòng)表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。
2．雙級(jí)旋片泵的結(jié)構(gòu)與工作原理
單級(jí)旋片泵一般極限壓力只能達(dá)到1.3Pa(個(gè)別可達(dá)0.1Pa)，為什么極限壓力不能再低呢？主要由于：
(1)泵的結(jié)構(gòu)上存在有害空間(見圖6)，該空間中的氣體是無法排除的。當(dāng)旋片轉(zhuǎn)過排氣口后，這一部分氣體又被壓縮，經(jīng)過轉(zhuǎn)子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間，所以每次總有些氣體排不盡。
(2)由于在泵工作時(shí)，泵腔的吸氣空間與排氣空間存在著一定的壓力差。當(dāng)排氣空間的氣體被壓縮得很小時(shí)，它的壓力很高，會(huì)通過各種可能的途徑突破到吸氣空間去，使泵真空度下降。
(3)泵油在泵體內(nèi)循環(huán)流動(dòng)過程中會(huì)溶解進(jìn)大量氣體和蒸氣。在吸氣側(cè)，因?yàn)閴毫^低，溶解的氣體又會(huì)跑出來，使泵的真空度不易提高。
為了提高泵的極限真空度，除了提高泵體、轉(zhuǎn)子、旋片的加工精度，盡量減少裝配間隙和有害空間以外，最有效的辦法是將兩只單級(jí)泵串接起來，組成雙級(jí)泵。
圖7為雙級(jí)泵的工作原理圖。泵由兩個(gè)工作室組成。兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，A室是B室的前級(jí)，A是低真空級(jí)，B是高真空級(jí)。被抽氣體經(jīng)高真空級(jí)(B室) 進(jìn)入前級(jí)，由排氣閥排出泵外。前級(jí)(A)和單級(jí)泵一樣，隨時(shí)有油進(jìn)入泵腔，而高真空級(jí)(B)僅在開始工作時(shí)存有少量的油，工作一段時(shí)間后，便沒有油進(jìn)入泵腔了。當(dāng)泵開始工作，且吸入氣體的壓力較高時(shí)(例如從大氣壓力開始抽氣)，氣體經(jīng)B室壓縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥(1)排出，另一部分則經(jīng)由前級(jí)排出。
當(dāng)泵工作一段時(shí)間后，B室吸入的氣體壓力較低時(shí)，雖經(jīng)B室的壓縮，壓力也達(dá)不到一個(gè)大氣壓以上，排不開輔助排氣閥(1)，則吸入的氣體全部進(jìn)入前級(jí)A室，經(jīng)A室的繼續(xù)壓縮，由排氣閥(3)排出。
泵工作一段時(shí)間后，由于高真空級(jí)進(jìn)氣時(shí)壓力大大降低，其出口壓力也很小，這樣B室進(jìn)出氣口的壓力差也較小，被壓縮氣體返回的數(shù)量也相應(yīng)減少；同時(shí)，后級(jí)泵中易蒸發(fā)的油分子不斷被前級(jí)A室抽走，油蒸氣的分壓減少了，因而雙級(jí)泵的油污染比單級(jí)小，極限真空度將大大提高。目前的雙級(jí)旋片真空泵的極限壓力可達(dá)到10-2pa，國(guó)外有的泵可達(dá)到10-3Pa。
